亚洲色图网友自拍自拍偷拍,亚洲AV无码人h人无遮,久久不见久久见中文字幕,日本视频一区二区三区在线

400-007-1218

新聞中心

News Center

劃片機切割水質(zhì)的要求(劃片機用水標準)

來源:博特精密發(fā)布時間:2025-04-27 10:07:53

劃片機作為半導體晶圓、光學玻璃等精密材料切割的核心設(shè)備,其切割過程中冷卻水的質(zhì)量直接影響加工精度、設(shè)備壽命及產(chǎn)品良率。水質(zhì)控制是劃片工藝中不可忽視的關(guān)鍵環(huán)節(jié),以下是劃片機對切割水質(zhì)的主要技術(shù)要求:


微信截圖_20250426001102.png


一、顆粒物控制

切割用水的顆粒物含量需嚴格限制至1μm以下,濃度低于100個/mL。超純水系統(tǒng)需配置多級過濾裝置(包括PP棉、活性炭、反滲透膜及終端0.1μm精密過濾器),避免微小顆粒劃傷晶圓表面或堵塞切割刀片冷卻孔道。尤其需防范金屬微粒污染,可能引發(fā)電路微短路風險。

二、離子純度要求

劃片機切割水質(zhì)的要求?電阻率應(yīng)達到18.2MΩ·cm(25℃)的超純水標準,金屬離子(Na+、K+、Ca2+、Fe3+等)總濃度需<1ppb。高純度要求源于離子污染物可能造成晶圓表面氧化、電路腐蝕及靜電吸附等問題。建議采用EDI(電去離子)與混床聯(lián)合工藝,并設(shè)置在線電導率實時監(jiān)測裝置。

三、微生物管控


細菌總數(shù)應(yīng)≤1CFU/mL,需配置UV殺菌器與0.22μm除菌濾膜。微生物代謝產(chǎn)生的有機酸及生物膜會腐蝕設(shè)備管路,其殘留物在高溫工藝段可能碳化形成顆粒污染物。建議每周進行微生物檢測,并建立管路沖洗消毒制度。


四、TOC控制


總有機碳(TOC)含量需<5ppb。有機物污染會導致晶圓表面親水性改變,影響光刻膠附著,同時高溫下分解產(chǎn)生氣體影響切割穩(wěn)定性。推薦使用雙波長(185nm+254nm)紫外氧化技術(shù),配合膜脫氣裝置降低溶解氧含量。


五、溫度與流量穩(wěn)定性

劃片機用水標準?水溫應(yīng)控制在23±0.5℃,流量波動不超過±5%。溫度變化會引起材料熱脹冷縮,導致切割線寬偏差;流量不穩(wěn)可能造成冷卻不均引發(fā)刀片崩刃。建議配置恒溫循環(huán)系統(tǒng)與變頻增壓泵,保證供液壓力穩(wěn)定在0.3-0.5MPa范圍。

六、特殊工藝要求

劃片機使用的水是什么水?對于化合物半導體(如GaAs)切割,需額外控制氯離子<0.1ppb;藍寶石切割建議添加適量表面活性劑(濃度0.01%-0.05%)提升潤濕性。新裝機時應(yīng)進行72小時持續(xù)水質(zhì)監(jiān)測,確保系統(tǒng)達到穩(wěn)定運行狀態(tài)。

劃片機實際應(yīng)用中需結(jié)合具體材料特性制定水質(zhì)標準,建議每月進行第三方水質(zhì)全分析,建立歷史數(shù)據(jù)趨勢圖。通過嚴格的水質(zhì)管控,可將刀片壽命延長30%以上,同時降低產(chǎn)品不良率至0.02%以下。

推薦新聞

在線客服

提交信息,免費獲取報價

av电影在线观看中文字幕| 亚洲自拍第一页另类视频| 国产精品国产三级国产专区| saojiba——在线| 亚洲最大精品久久久久久| 中文国产成人精品久久水| 啊啊不要视频啊啊啊一区| 最近的2019中文字幕国语在线| 久久久久久久久久久大尺度| 大香蕉之大香蕉天堂在线| 国产视频色精品一区二区| 国产精品美女一区二区视频| 日本不卡一区二区在线视频| 亚洲日韩精品无码专区站| 亚洲性无码av中文字幕| 啊啊啊大鸡吧操我在线看| 国产精品久久久一区二区三区| 欧美精品99久久久久久| AV无码久久久精品免费| 午夜福利啪爽国产片精品| 人妻丰满熟妇av无码区不卡色欲 | 蜜臀av性久久久久蜜臀| 亚洲阿v2017在线观看| 国产精品国产三级国产专区53| 在线黄色网站不卡摸奶咬| 国产精品一区二区欧美激情| 无码av天天av天天爽| 欧美小视频在线观看不卡| 影音先锋aⅤ无码资源网| 国产一区国产二区在线视频| 日本无码精油按摩www视频| 成人欧美一区二区三区视频| 国产性行为视频在线观看| 东京热舞苍井空无码高清| 久久久综合色| 国产色窝窝蝌蚪在线播放| 中文字幕在线不卡一二三区| 欧美xxxx黑人又粗又长精品| 日韩欧美国产一区二区三| 欧美黄页网站视频在线观看| 欧美成人久久久免费播放|